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氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter，以下簡稱MFM）可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。

氣體MFC是熱式質(zhì)量流量計(jì)。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。